簡析真空技術的應用與發展

      真空技術隨著越來越廣的應用，遍及航空航天和軍工、光伏發電等領域，是工業體系不可或缺的重要技術。目前真空技術受到世界各國的重視，真空設備、技術、材料、配件等有著廣闊的市場前景。我國真空設備行業每年以20%左右的速度增長，在重大項目工程的扶持中，國內的真空技術產業已不能在質上滿足市場要求。下面我們就三個重大產業對真空技術的需求做簡要概述：

　　冶金工業：冶金工業需用到的真空技術包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應熔煉、感應殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業很重要的一方面。這項技術主要應用于原子能工業，宇宙空間技術、海洋鉆探技術、燃氣發動機技術、汽車工業、飛機制造業、高速列車等高技術工業中，對鋼中的某些元素進行控制和處理，對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應用行業擁有現代化的真空處理設備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經將此項技術作為標準，并對其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用１００％的真空脫氣處理，完成現代化鋼鐵工業的基本要求。

　　電子與微電子工業：微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分，特別是超大規模集成電路的微細加工技術，其幾何圖形結構的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空環境，可見其發展對真空技術、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業，而當今的超大規模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

　　機械制造行業：這是一個帶動性強、帶動作用廣的產業，目前歐債危機的陰霾仍未散去，各國積極將機械制造產業作為提振經濟的。它的技術應用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統領域。真空熱處理是指將真空技術與熱處理技術緊密結合的新型熱處理技術。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學熱處理的吸附和反應過程等特點。另外，它本身工藝操作靈活、無公害的特點成為行業常用的處理手段。